日本檢查機器工業會(JIMA)所製造的X-ray解析度測試片是最廣泛用來測試X-ray影像的工具。測試片使用半導體製程製造,可提供最小0.1μm的影像精度。

Model

Line and Space Size

RT RC-04

0.1~10μm

RT RC-05B

3~50μm

RT CT-01B

3~7μm