奈米焦斑X光管
X光管可分為封閉式(Close type)以及開放式(Open type)兩種規格款式，大部分的X光產生器都是屬於封閉式，這種X光管產生器內部的燈絲的壽命會隨著使用時間而減少，最後導致燒毀損壞，優點是購置成本較低，日常不需要維護保養。而開放式的X光產生器內部燈絲可以由客戶自行更換，所以整體X光管的使用壽命可以說是沒有限制。而開放式X光管的規的焦點尺寸(Spot Size)是依據靶材的材質來決定，最小尺寸可達到600奈米(600nm)，優點是維護成本低。
主要運用在超細微物品的檢測，像是MEMS元件內結構檢測、IGBT模組以及半導體晶圓檢測。
辰允科技代理瑞士知名品牌Comet的奈米焦斑X光產生器，歡迎學術研究、實驗室單位以及設備開發商及各種客戶洽詢。
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Nominal voltage: 160 KV
Mobility: Stationary
Max. resolution: 2 μm
Max. power range: 10 – 15 W
Min. FOD: 0.3 mm
Nominal voltage: 160 KV
Mobility: Stationary
Max. resolution: 0.6 μm
Max. power range: 2 – 15 W
Min. FOD: 0.3 mm
Nominal voltage: 160 KV
Mobility: Stationary
Max. resolution: 0.6 μm
Max. power range: 2 – 15 W
Min. FOD: 0.3 mm
Nominal voltage: 190 KV
Mobility: Stationary
Max. resolution: 0.6 μm
Max. power range: 2 – 15 W
Min. FOD: 0.3 mm
下圖為Spot Size尺寸變化對於影像的影響。
